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图书简介:

本书从薄膜的角度介绍相平衡和晶体表面原子结构的基础知识,讲解了薄膜中的缺陷和扩散、薄膜生长的三种模式和成核长大动理学,介绍了金属薄膜、半导体薄膜、氧化物薄膜的生长和生长中出现的分形现象,最后介绍了薄膜制备和研究的各种方法。

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